南京埃米儀器科技有限公司（下簡稱：埃米儀器）完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資，博將資本領(lǐng)投。本輪融資將用于進(jìn)一步提升先進(jìn)半導(dǎo)體制程用的高精密量測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，加大市場開拓力度能力。

埃米儀器成立于2022年，公司成立以來一直引領(lǐng)國內(nèi)高精密 3D 量測設(shè)備的國產(chǎn)化，攻克核心技術(shù)。產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級三維結(jié)構(gòu)的高精密高速量/檢測裝備。產(chǎn)品主要應(yīng)用于芯片制程中的微結(jié)構(gòu)量測和缺陷檢測，解決相關(guān)領(lǐng)域的卡脖子技術(shù)。

公司擁有一支以國家級人才為主的研發(fā)核心團(tuán)隊(duì)，目前已與南京大學(xué)、山東大學(xué)、南智光電研究院等國內(nèi)外科研院所、機(jī)構(gòu)建立密切合作關(guān)系。依托公司核心團(tuán)隊(duì)多年技術(shù)儲(chǔ)備，聚焦高端量測產(chǎn)品開發(fā)，包含用于芯片生產(chǎn)過程控制的超快高精密原子力顯微鏡在線量測設(shè)備及高端混合技術(shù)量測設(shè)備。

技術(shù)方面，埃米儀器通過申請專利構(gòu)筑技術(shù)壁壘：目前公司已得到專利授權(quán)20余項(xiàng)，相關(guān)專利覆蓋原子力顯微鏡和光學(xué)量測設(shè)備，涉及光電器件、精密機(jī)械、定位系統(tǒng)、電氣設(shè)計(jì)等。

博將資本該項(xiàng)目投資負(fù)責(zé)人陸元昊表示，量測設(shè)備未來將與光刻設(shè)備并行發(fā)展，發(fā)揮至關(guān)重要的作用，而原子力顯微鏡作為精度最高的量測設(shè)備，在先進(jìn)制程中正在成為量檢測主力設(shè)備。埃米儀器僅成立2年時(shí)間便成功研發(fā)出國內(nèi)首臺(tái)在線工業(yè)級原子力顯微鏡并已實(shí)現(xiàn)在某頭部芯片客戶交付。同時(shí)，公司通過推動(dòng)高通量AFM、混合量測等方式彌補(bǔ)傳統(tǒng)AFM機(jī)臺(tái)在量檢測速度的限制，將大大拓寬傳統(tǒng)原子力顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域。我們堅(jiān)定看好公司的發(fā)展，未來也將在多方面持續(xù)支持公司。